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本实用新型公开了一种氧化亚硅沉积取料装置,涉及氧化亚硅生产技术领域,包括筒体、支架、分离件以及配套的提供动力的装置。为应对氧化亚硅在沉积过程中的“冷胀”作用,本实用新型利用可旋转的分离件对粘连在一起的沉积产物和筒壁进行分离,可以简单有效的将产物取出。本实用新型公开的沉积取料装置结构简单、结构紧凑、工作原理简单可靠,使用寿命长,占地面积小,资金投入小,可以做到一个加热反应装置配套一个沉积取料装置,生产效率高,适合于大批量生产。
(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219670156 U (45)授权公告日 2023.09.12 (21)申请号 202320265787.9 (22)申请日 2023.02.21 (73)专利权人 郑州炬煌新材料科技有限公司 地址
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