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本申请提供一种基板玻璃测厚装置,涉及玻璃厚度检测技术领域。该装置包括:机架、夹持机构、测量机构、支撑组件和用于调节测量机构位置的位置调节装置;其中,所述位置调节装置与所述支撑组件安装在所述机架的同侧;所述夹持机构安装在所述支撑组件上,用于夹持基板玻璃;所述测量机构安装在所述位置调节装置上并与所述夹持机构互配,用于测量基板玻璃的厚度。本装置通过增设位置调节装置,实现测量机构在基板玻璃上的测量位置可调,使该装置既能测量基板玻璃不同高度位置的厚度,也能监测厚度异常区域或异常点,为前工序的决策提供了更多
(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219675053 U (45)授权公告日 2023.09.12 (21)申请号 202320189232.0 (22)申请日 2023.01.19 (73)专利权人 芜湖东旭光电装备技术有限公司 地
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