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一种化学气相沉积炉尾气处理装置，尾气管道的上端与化学气相沉积炉炉体连通；夹层结构的尾气管道的下端与焦油收集罐的入口连通。该焦油收集罐的出口与洗气罐的入口之间通过循环管道连通。在该尾气管道内圆周表面分布有多个螺旋排布的挡板，以层层拦截阻挡由化学气相沉积炉出来的高温反应尾气，使大部分尾气中的焦油、粉尘和碳黑等会由气态变为固态凝结在挡板或尾气管道壁上，防止大量焦油等副产物被快速吸入真空系统中，保持真空系统能够长时间连续运行。
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210410057 U (45)授权公告日 2020.04.28 (21)申请号 20192
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