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本实用新型提供一种静电吸盘，包括：基底、加热层、陶瓷层、第一粘合层、第二粘合层、内密封圈和外密封圈，本申请通过利用内密封圈环绕包裹住第一粘合层、加热层、第二粘合层的侧面，再利用外密封圈环绕包裹住内密封圈，其中，所述内密封圈和外密封圈均是可直接从加热层侧拆卸下来，日常PM维护即可定期更换，降低了维护成本。进一步的，包裹性强的内密封圈至少可以和加热层、第一粘合层、第二粘合层的侧面完全贴合，外密封圈可以对内密封圈产生较大的束紧力，从而达到对ESC侧边的双重保护，避免了第一粘合层和第二粘合层受到化学气体
(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219677210 U (45)授权公告日 2023.09.12 (21)申请号 202320270704.5 (22)申请日 2023.02.20 (73)专利权人 华虹半导体（无锡）有限公司 地址
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