一种旋转接头、坩埚升降旋转机构及长晶炉.pdfVIP

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2023-09-14 发布于四川
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一种旋转接头、坩埚升降旋转机构及长晶炉.pdf

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本申请公开了一种旋转接头、坩埚升降旋转机构及长晶炉，其中旋转接头包括固定本体、旋转本体、通孔、冷却通道、冷却入口和冷却出口，其中：固定本体具有容纳旋转本体的安装腔，旋转本体穿过安装腔设置在固定本体内，旋转本体可相对于固定本体旋转；通孔沿第一方向贯穿旋转本体，用于为坩埚底部的温度测量提供测量通道；冷却通道设置在固定本体和旋转本体内部，冷却通道的接入端与冷却入口连通，冷却通道的接出端与冷却出口连通，冷却介质通过冷却入口进入冷却通道，经冷却出口离开冷却通道；冷却入口和冷却出口设置在固定本体上。通过在旋

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219670705 U (45)授权公告日 2023.09.12 (21)申请号 202320387767.9 (22)申请日 2023.03.06 (73)专利权人无锡松瓷机电有限公司地址 2