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本实用新型公开了一种靶材除尘装置，包括旋转台、吹尘机构、吸尘机构，所述旋转台一侧设有吹尘机构，所述旋转台的另一侧设有吸尘机构，所述吹尘机构包括支撑架，所述支撑架上设有吹气管，所述吹气管为弧形状，所述吹气管上设有多个气嘴，每个所述气嘴均通过进气管连接至气泵；本实用新型结构简单，设计新颖，保证靶材的除尘效果，节省时间及人力，提高靶材制造效率。
(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219664605 U (45)授权公告日 2023.09.12 (21)申请号 202223484454.X (22)申请日 2022.12.27 (73)专利权人 江苏海泰光电材料科技有限公司 地
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