一种半导体加工基板翻转装置.pdfVIP

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2023-09-13 发布于四川
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一种半导体加工基板翻转装置.pdf

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本发明公开了一种半导体加工基板翻转装置，包括支撑架，所述支撑架为凹形架体，支撑架的两端对应设置有支撑座、夹紧滑轨、夹紧气缸与翻转机构，所述支撑座滑动连接在夹紧滑轨上，支撑座的底部设置有控制支撑座行程的夹紧气缸，两组翻转机构分别对应安装在支撑座的侧面，且位置相对，所述支撑架的凹面上设置有升降气缸、固定板、升降平台、基板载具，所述升降气缸的升降杆穿过固定板与升降平台相连接，基板载具设置在升降平台的表面，所述翻转机构包括旋转气缸、基板夹具，所述基板夹具与旋转气缸的旋转端相连接。有益效果：具备可自动实现

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116729958 A (43)申请公布日 2023.09.12 (21)申请号 202310402215.5 (22)申请日 2023.04.14 (71)申请人江苏富乐德石英科