一种晶圆压紧装置.pdfVIP

下载本文档

2
0
约8.03千字
约 9页
2023-08-24 发布于四川
举报
版权申诉

一种晶圆压紧装置.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本实用新型公开了一种晶圆压紧装置，包括底板，所述底板顶部的一侧和中部均固定连接有支撑板，并且支撑板的顶部固定连接有加热盘，所述底板顶部的一侧固定连接有侧板，并且侧板一侧的中部与支撑板的一侧固定连接有横板，所述侧板的顶部固定连接有顶板，并且顶板的底部与横板的顶部固定连接有固定杆，本实用新型涉及晶圆加工技术领域。该晶圆压紧装置，通过底板顶部的一侧和中部均固定连接有支撑板，并且支撑板的顶部固定连接有加热盘，底板顶部的一侧固定连接有侧板，并且侧板一侧的中部与支撑板的一侧固定连接有横板，可以通过调节挤压杆

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210200692 U (45)授权公告日 2020.03.27 (21)申请号 20192