一种新型4寸磷扩石英舟.pdfVIP

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2023-08-24 发布于四川
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一种新型4寸磷扩石英舟.pdf

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本实用新型公开了一种新型4寸磷扩石英舟，涉及石英舟领域，针对现有的磷扩后结深的均匀度不够的问题，现提出如下方案，其包括底座，所述底座的顶部开设有等距设置的连通孔，所述底座顶部两侧的边缘处均固定有横梁，两个所述横梁的两端之间均固定有竖向设置的横板，且横板与底座固定连接，两个所述横板相互靠近的一侧均开设有矩形口，两个所述横板相互远离的一侧均连接有固定在底座上的罩壳，所述罩壳的内部设有开设在底座上的气孔，本实用新型，在各部件的共同作用下，使其在炉管中各部分接触气体的氛围一致，使晶片在磷扩时扩散速度一致

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210194037 U (45)授权公告日 2020.03.27 (21)申请号 20192