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本实用新型涉及检测的技术领域,公开一种半导体功率器件,包括:衬底、形成于衬底内的结构层、形成于衬底一侧表面的金属连接层;其中:衬底包括沿衬底厚度方向排列的P型层和位于P型层背离金属连接层一侧的N型层以形成P‑N结,衬底形成有开口位于P型层背离N型层一侧表面的电阻沟槽;金属连接层包括测温电阻引出端;结构层包括测温电阻,测温电阻位于电阻沟槽内,测温电阻朝向金属连接层的一端与测温电阻引出端连接、且远离金属连接层的一端伸入至N型层内,且测温电阻与P型层和N型层之间绝缘,能够解决现有技术中对功率器件工作时
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210200738 U (45)授权公告日 2020.03.27 (21)申请号 20192
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