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基于CMOS--MEMS技术的微型温差发电系统研究的中期报告 摘要： 本研究旨在通过将CMOS与MEMS技术结合起来，研制出一种微型温差发电系统。在本中期报告中，我们介绍了我们的研究背景与研究方法，以及现有的相关技术和文献综述。我们还介绍了我们在微型温差发电系统方面的实验设计和结果。通过实验结果分析，我们发现了一些问题，并提出了一些解决方案。 研究背景： 温差发电技术是一种通过利用热差异来产生电能的方法，具有很大的应用前景。目前，在石化、航空、军事等领域已经有了广泛的应用。随着微型电子技术和微机电系统（MEMS）技术的发展，微型温差发电系统也逐渐发展起来。 研究方法： 本研究的方法是利用CMOS--MEMS技术设计制造微型温差发电系统。该系统包括一个微型热电堆、一个功率放大器和一个温度传感器。通过温度传感器测量热电堆的温度差异，利用功率放大器放大热电堆输出的微弱电信号，最终实现将温差转换为电能输出的目的。 相关技术和文献综述： 根据我们的文献综述，现有的微型温差发电系统主要有两种结构：热电单元（TEU）和热电堆（TEG）。TEU结构简单，但功率较小；TEG结构复杂，但可以获得较大的功率。在我们的研究中，我们选择了TEG结构。 实验设计和结果： 我们通过CAD软件设计了热电堆的结构，并利用MEMS技术制造了热电堆。我们使用红外线测温仪对热电堆进行了温度测量，结果表明，热电堆可以在不同的温度差下产生微弱电信号。我们还设计并制造了功率放大器和温度传感器，将它们和热电堆集成在一起。通过实验结果分析，我们发现热电堆输出的电信号较低，功率不够，需要进一步提高输出电压和功率。 结论： 本中期报告介绍了基于CMOS--MEMS技术的微型温差发电系统的研究背景、研究方法、相关技术和文献综述以及实验设计和结果。我们的实验结果表明，这种系统可以在不同的温差下产生电信号，但还需要改进，进一步提高输出电压和功率。