GB/T 42897-2023微机电系统(MEMS)技术　 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法.pdf

ICS31.200 CCSL59 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT42897 2023 微机电系统( )技术 MEMS 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法 ( ) — Micro-electromechanicalsstemsMEMS technolo y gy Tensilestrenthtestmethodfornano-scalemembranesofsiliconbasedMEMS g 2023-08-06发布 2023-12-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 / — GBT42897 2023 目 次 前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅲ 1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1 3 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 1 4 试验要求 ………………………………………………………………………………………………… 1 5 试验方法 ………………………………………………………………………………………………… 3 ( ) ……………………………………… 附录 资料性 推荐形变量标尺结构及其指示数值读取方法 A 5 ( ) ………………………… 附录 资料性 纳米厚度膜抗拉强度原位片上试验机体硅工艺制备实例 B 6 ( ) …………………………………… 附录 资料性 纳米厚度膜抗拉强度原位片上试验机尺寸建议 C 7 Ⅰ / —