基于能量粒子穿透特性测量离子束粒子成分的能量分析器.pdfVIP

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2023-08-19 发布于四川
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基于能量粒子穿透特性测量离子束粒子成分的能量分析器.pdf

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本实用新型公开了一种基于能量离子穿透特性测量粒子束粒子成分的能量分析器，它包括三个金属膜片，每个金属膜片后均设置一个探测器，高能量离子束I1分别入射至金属膜片，经过三个金属膜片后分别输出透过第一金属膜片的离子束，透过第二金属膜片的离子束和透过第三金属膜片的离子束，透过第一金属膜片的离子束，透过第二金属膜片的离子束和透过第三金属膜片的离子束分别输入至探测器并分别输出接收到透过金属膜片的电流II，探测器接收到透过金属膜片的电流III，探测器接收到透过金属膜片的电流IIII。其优点是：根据粒子在不同种

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210155340 U (45)授权公告日 2020.03.17 (21)申请号 20182