GB/T 42721-2023电子特气　一氧化氮.pdf

ICS71.100.20 CCSG86 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT42721 2023 电子特气 一氧化氮 — Electronicsecialt as Nitricoxide p yg 2023-08-06发布 2024-03-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 / — GBT42721 2023 前 言 / — 《 : 》 本文件按照 标准化工作导则 第 部分 标准化文件的结构和起草规则 的规定 GBT1.1 2020 1 起草。 。 。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利 本文件的发布机构不承担识别专利的责任 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会( / )提出并归口。 SACTC203 : 、 、 本文件起草单位 大连科利德光电子材料有限公司 昊华气体有限公司 湖州市南浔区佰通标准化 、 ( ) 、 、 研究院 中船 邯郸 派瑞特种气体股份有限公司 广东华特气体股份有限公司 苏州金宏气体股份有限 、 、 、 ( ) 、 公司 江西华特电子化学品有限公司 华测检测认证集团股份有限公司 绿菱电子材料 天津 有限公司 、 、 、 、 北京高麦克仪器科技有限公司 三峡大学 湖北和远气体股份有限公司 湖北京瑞气体有限公司 兰州裕 、 、 、 隆气体股份有限公司 玉门大洋天庆石化有限责任公司 昊华气体有限公司西南分公司 中昊光明化工 、 、 、 研究设计院有限公司 上海申南特种气体有限公司 上海华爱色谱分析技术有限公司 大连大特气体有 、 、 、 、