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本实用新型提供一种高通量芯片扫描系统，包括至少一个激光器，二维振镜系统及光源收集机构。二维振镜系统包括第一驱动器、第一振镜、第二驱动器和第二振镜，激光器的出光面与第一振镜的第一反射面相对布置；第二振镜的第二反射面与第一反射面相对布置且接收第一反射面反射出的光；第二振镜反射出的光形成扫描光源。第一驱动器驱动第一振镜转动的同时第二驱动器驱动第二振镜转动，振镜转动使激光光路产生运动，激光照射到样品上的X向和Y向的位置发生变化，样品上的染色剂受激光激发产生荧光，产生的荧光被光源收集机构收集；二维振镜在X
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210134113 U (45)授权公告日 2020.03.10 (21)申请号 20192
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