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本发明涉及晶圆储存技术领域，具体涉及一种具有自除湿功能的晶圆盒存储装置，包括有底座，所述底座外周套接有外壳，所述外壳内周开设有固定槽，所述底座上部开设有弧形凹槽，外壳内周设置有密封块且密封块与弧形凹槽搭接。本发明通过将固定杆插入外壳内周设置的固定槽可将外壳与底座之间固定，另外固定杆端部设置的第四弧形弹片利用自身的弹性对外壳施加一个垂直向下的力使密封块能够压紧在弧形凹槽内部，从而保障了该装置的密封性；通过进气阀门通入气体，使该装置内部气压高于外部气压，通过除湿膜的功能层和PET层选择性吸收，装置内
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116552989 A (43)申请公布日 2023.08.08 (21)申请号 202310373464.6 (22)申请日 2023.04.04 (71)申请人 宣城开盛半导体科技有限公司 地址
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