YS_T 1234-2018铬钼合金（CrMo）靶材.pdf

ICS 77. 150. 99H 63YS中华人民共和国有色金属行业标准YS/T1234—2018铬钼合金（CrMo）靶材Chrome-molybdenum alloy target2018-04-30发布2018-09-01实施中华人民共和国工业和信息化部发布 YS/T 1234—2018中华人民共和国有色金员行业标准铬钼合金(CrMo)靶材YS/T 1234—2018治金工业出版社出版发行北京市东城区嵩祝院北巷39号邮政编码：100009北京建宏印副有限公司印射各地新华书店经销155024:123开本880X×12301/16印张0.75字数17千字2018年8月第一版：2018年8月第一次印别筑—书号：155024·1237定价；20.00元 YS/T 1234—2018前言本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草，本际准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)提出并归口。本标准起草单位：宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、合肥江丰电子材料有限公司。本标准主要起草人：姚力军、王学泽、袁海军、陈勇军、吴东青、黄东长、钱红吴、丁照崇、高岩、苏美风 YS/T 1234—2018铬钼合金(CrMo)靶材1范围本标准规定了工具薄膜用铬合金靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存和质量证明书及订货单(或合同)内容。本标准适用于工具薄膜制造用的各类铬锯合金靶材，2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的，凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T3850致密烧结金属材料与硬质合金帮度测定方法GB/T 6394金属平均品粒度测定方法GB/T 8651金属板材超声板波探伤方法GB/T14265金属材料中氢、氧、氛、碳和硫分析方法通则YS/T 837裁射乾材一背板结合质量超声波检验方法SN/T 2619金属铬中铝、锑、神、链、铜、铁、铅、硅、锡杂质元素的测定电感辆合等离子体原子发射光谱法3术语和定义下列术语和定义适用于本文件。3. 1靶材target在恶射沉积技术中的阴极部分。该极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形式脱离阴极而在阳极表面沉积。3. 2艳还targetblank阴极上用作射材料的部分。3. 3背板backing plate用来支撑或固定靶材的部分。肥坏与背板可以通过焊接（如轩焊、电子束焊、扩散焊等）、机械复合、粘接等方式连接，4要求4.1产品分类4.1.1产品形状通常为圆形，示意图如图1所示。1 YS/T 1234—20184. 1.2产品按照结构形式分为单体和焊接两种，靶材背板可包括铝合金、销合金等，示意图如图2所示，靶材背板不参与射，背板成分、规格等根据客户基台或图纸确定，4.1.3产品按照化学成分分为Cr90Mo10.Cr70Mo30两个牌号。图 1铬钼合金靶材形状骨板a）焊接型积材b)单体乾材图 2铬组合金靶材结构4. 2化学成分产品的化学成分应符合表1规定。表1化学成分牌号Cr90Mo10Cr70Mo30Mo含量质量分数)/%9. 0~11. 027. 0~33. 0Cr+Mo含量（质量分数)/%≥99. 8≥99. 8Fe≤0. 08≤0. 08Ni≤0. 01≤0. 01Ca≤0. 005≤0. 005Pb≤0. 005≤0. 005≤0. 0110 0AI≤0. 08≤0. 08杂质元素含量(质量分数)/%0.1≤0. 1Sb≤0. 0008≤0. 0008P≤0. 005≤0. 005Cu≤0. 005≤0. 005≤0. 040. 04N≤0. 02≤0. 02≤0, 35≤0. 35Cr十Mo含量为100%减去表中杂质实测总和的余量(不含C,N,0)。N YS/T 1234—20184.3平均品粒度产品晶粒尺寸为70um~120xm，平均品粒度为3.0级4.5级，且晶粒分布均勾。需方如有特殊要求时，由供需双方商定，并在订货单（或合同)中注明。4.4致密度产品的致密度应不小于98%，4. 5内部质量产品内部夹杂和气孔等缺陷面积应不大于总溅射面积的0.02%。需方如有特殊要求时，由供需双方商定。4.6焊接质量产品的焊接方式为纤焊（也有些为一体型靶材，无需焊接），焊接质量应符合表2的规定，需方如有特殊要求时，由供需双方商定表2焊接质量要求焊接方式焊接结合车单个未焊合间除面段/总面积舒焊￥95%.5%4.7外形尺寸与允许偏差产品尺寸一般由需方提供图纸，经双方确认后，方可生产4.8表面粗糙度产品表面粗糖度应符合图纸要求，图纸无要求时R，值应不大于1.6am需方如有特殊要求时，由供需双方商定，并在订货单（或合同）中注明。4.9外观质量产品