YS_T 791-2012铂靶.pdf

ICS 77. 120. 99YSH 68中华人民共和国有色金属行业标准YS/T 791—2012铂靶Platinum target2012-11-07 发布2013-03-01实施中华人民共和国工业和信息化部发布 YS/T 791--2012前言本标准按照GB/T 1.1--2009给出的规则起草。本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)归口。本标准由有研亿金新材料股份有限公司负责起草。本标准主要起草人：王永辉、朱晓光、杨永刚、杨华、程轶欧、雷继锋、熊晓东、江轩。1 YS/T 7912012铂靶1范围本标准规定了铂靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及合同或订货单。本标准适用于半导体器件用的各类铂溅射靶材（以下简称铂靶），其他用途的铂靶材也可参照使用。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB/T1182产品几何技术规范（GPS）几何公差形状、方向、位置和跳动公差标注GB/T 1419—2004　海绵铂GB/T15077—2008贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法3要求3.1产品分类铂靶按照纯度分为IC-Pt99.95、IC-Pt99.99两个牌号。外形主要为圆形和矩形3.2化学成分铂靶的化学成分应符合GB/T1419—2004中的Pt99.95及Pt99.99的规定，未规定元素和挥发物控制限及分析方法的，由供需双方协商确定。3.3外观质量3.3.14铂靶表面应平整，无划伤、裂纹、凸起等缺陷；无颗粒附加物和其他沾污；应清洁光滑，无指痕，无油污和锈蚀。3.3.2铂靶表面粗糙度 Ra值应不大于1.6 μm。3.4几何尺寸与允许偏差3.4.1圆形铂靶的直径主要有 25 mm～300 mm,厚度通常为 1 mm～10 mm3.4.2矩形铂靶的尺寸主要有：长度 20 mm～300 mm,宽度 20 mm～300 mm,厚度通常为1 mm～10 mm,倒角半径R通常为0.5 mm~～3 mm。3.4.3圆形和矩形铂靶的尺寸及其允许偏差应符合表1的规定。经双方协商，可提供其他规格及允许偏差的铂靶。3.4.4铂靶的几何公差（平行度、垂直度等）：若需方有特殊要求，可按技术协议或需方图纸的公差要求。1 YS/T 791--2012表1单位为毫米几何尺寸厚度形状尺寸允许偏差尺寸允许偏差圆形25~～100±0.1直径Φ100～300±0. 151~10±0.1矩形20~100±0.1边长100～300±0.153.5内部质量铂靶的内部不应有分层、疏松、夹杂和气孔等缺陷，由供方的生产工艺保证。1.试验方法4.1铂靶化学成分的分析方法按GB/T1419-2004标准的附录B执行。4.2外观质量用目视检查，如发现异常现象，用10倍放大镜鉴别;表面粗糙度由粗糙度仪检测。4.3铂靶几何尺寸的测量按GB/T15077-2008标准的方法1直接测量法执行；铂靶几何公差的测量按照GB/T1182的规定进行。客户特别要求，可按技术协议或按需方图纸、来样检查。5检验规则5.1检验和验收5.1.1产品应由供方检验部门进行检验，保证产品质量符合本标准（或订货合同）的规定，并填写质量证明书。5.1.2需方应对收到的产品按本标准的规定进行复验。如复验结果与本标准（或订货合同）的规定不符时，应在收到产品之日起一个月内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样应由供需双方在需方场所共同进行。5.2 组批产品应成批提交验收。每批应由同一投料批、同一规格的产品组成。5.3检验项目及取样检验项目、取样位置及数量应符合表2的规定。表2检验项目取样位置取样数量要求的章条号检验的章条号化学成分铸锭缩孔下批铸锭的20%进行抽样，但不少于1个3. 24.1外观质量逐件4.2几何尺寸逐件3. 44.35. 4 检验结果的判定5.4.1化学成分不合格时，判该批铸锭不合格。允许供方对剩余铸锭进行全检，将合格者重新组批。2 YS/T 791—20125.4.2外观质量不合格时，判该件产品不合格。5.4.3几何尺寸不合格时，判该件产品不合格。6　标志、包装、运输、贮存6.1　标志在已检验合格的每块铂靶上进行如下标记：a）产品名称；b）纯度；c）规格;d）批号。6.2包装、运输和贮存6.2.1产品用防静电塑料袋真空封装，并放在防止碰撞的包装盒内。6.2.2每批产品应附标签，注明产品名称、纯度、批号、规格、净重、毛重、生产日期。6.2.3产品运输过程中应防止碰伤、擦伤，不得损坏和沾污产品，并保证运输过程中靶材完整。6.2.4产品应保存于清洁、干燥的环境中。6.3质量证明书每批产品应附有质量证明书，注明：供方名称；b)产品名称；c