YS_T 1025-2015电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材.pdf

ICS 77.150.99YSH 63中华人民共和国有色金属行业标准YS/T 1025—2015电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材High-purity tungsten and tungsten alloy sputtering target usedin electronic film2015-04-30 发布2015-10-01 实施中华人民共和国工业和信息化部发布 中华人民共和国有色金属行业标准电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材YS/T 1025-2015*中国标准出版社出版发行北京市朝阳区和平里西街甲2号（100029)北京市西城区三里河北街16号（100045)网址 总编室：（010行中心：（010者服务部：（010国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷各地新华书店经销*开本 880×12301/16印张0.75字数 18 千字2016年1月第一版2016年1月第一次印刷书号：155066·2-29184如有印装差错由本社发行中心调换版权专有侵权必究举报电话：(010 YS/T 1025---20156.2包装6.2.1高纯钨及钨合金靶的清洗、干燥及内包装应在千级及以上洁净间内进行。高纯钨及钨合金靶经过全面清洗，真空干燥后每片单独真空包装，真空袋封口要平整无贯通，真空袋无漏洞。6.2.2外包装采用中空盒或木箱包装。包装盒内应有防碰撞措施，高纯钨及钨合金靶各个方向均有缓冲物质(如珍珠棉)包覆。将质量证明书用塑封袋装好后粘贴于包装盒内侧。6.2.3包装产品应保存于清洁的环境中。6.3运输与贮存运输及贮存过程中，应注意防震、防潮、防压，防止二次污染。6.4质量证明书每批产品应附有质量证明书，注明：a）供方名称、地址、电话、传真；b）产品名称；c）牌号；d）需方名称；订单编号；生产批号；各项分析检测结果和质量检测部门印记；h）出厂日期。订货单(或合同)内容订购本标准所列产品的订货单(或合同)内应包括下列内容：a）产品名称；b）牌号;c）规格;d）数量;本标准编号；其他需要协商或增加标准以外要求的内容。版权专有侵权必究书号：155066·2-29184YS/T 1025-2015 YS/T 1025—2015前言本标准按照GB/T 1.1--2009 给出的规则起草。本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)提出并归口。本标准起草单位：宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、北京天龙钨钼科技股份有限公司、株洲凯特实业有限公司、西安方科新材料科技有限公司。本标准主要起草人：姚力军、王学泽、丁照崇、张涛、扶元初、袁海军、郑文翔、宋佳、苏国平、钱红兵袁洁、王兴权、张玉利、王越、杜铁路。I YS/T 1025—2015电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材1 范围本标准规定了电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、订货单(或合同)等内容。本标准适用于电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材，以下简称高纯钨及钨合金靶。2 规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB/T1031产品几何技术规范(GPS）表面结构轮廓法表面粗糙度参数及其数值GB/T 1804一般公差未注公差的线性和角度尺寸的公差GB/T3850致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法GB/T4324.23钨化学分析方法第23部分：硫量的测定燃烧电导法和高频燃烧红外吸收法GB/T 4324.25钨化学分析方法第25部分：氧量的测定脉冲加热惰气熔融-红外吸收法GB/T 4324.26钨化学分析方法第26部分：氮量的测定脉冲加热惰气熔融-热导法和奈氏试剂分光光度法GB/T 4324.27钨化学分析方法第27部分：碳量的测定高频燃烧红外吸收法GB/T6394金属平均晶粒度测定法GB/T 8651金属板材超声波板探伤方法YS/T 837溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法YS/T900高纯钨化学分析方法痕量杂质元素的测定电感耦合等离子体质谱法YS/T 901高纯钨化学分析方法痕量杂质元素的测定．辉光放电质谱法3要求3.1产品分类3.1.1产品按外形分为圆形、矩形和异形(如三角形等）。3.1.2靶材的背板为铜及铜合金或铝及铝合金。3.1.3根据合金材料不同，分为纯钨靶、钨钛合金靶、钨硅合金靶三种靶材。3.1.4产品按化学成分分为 W-99.999、WTi-99.9、WTi-99.95、WTi-99.99、WTi-99.995、WTi-99.999、WSi-99.99、WSi-99.999八个牌号。表示方法和标记示例如下：-□产