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本实用新型提供一种高温无尘自动烘箱，它包括包括左右并列装配的沥干箱、烘干箱，所述沥干箱、烘干箱的下段部分装配有水平左右贯穿输送的链辊轨道，所述烘干箱的上部装配有加热箱，所述加热箱内部装配有加热板，所述加热箱下部与烘干箱内部通过控风百叶连通，所述控风百叶的叶片可以控制左右摆动，所述链辊轨道并列的单辊上部放置有烘烤架，所述烘烤架内放置有左右排列的竖直的晶圆片。该烘箱通过链辊轨道对烘烤架上晶圆进行输送，整个过程自动完成，无需人工操作。同时并列设计的沥干箱可以使得烘干更快耗能更低，控风百叶可以控制干燥气
(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219454569 U (45)授权公告日 2023.08.01 (21)申请号 202223308882.7 (22)申请日 2022.12.10 (73)专利权人 苏州桔云科技有
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