一种接触层OPC方法.pdfVIP

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2023-08-02 发布于四川
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一种接触层OPC方法.pdf

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本发明提供一种接触层OPC方法，包括在接触层目标图形中选择特征OPC图形，并选择相应的第一亚分辨率辅助图形得到第二亚分辨率辅助图形，以特征OPC图形对应的特征目标图形边为目标生成第三亚分辨率辅助图形，根据目标图形和第三亚分辨率辅助图形进行基于模型的OPC，得到最终OPC图形。本发明提供的接触层OPC方法，可以整体提高整体工艺窗口，避免OPC热点的产生，且通过在OPC处理流程中优化亚分辨率辅助图形，改善热点通孔图形的工艺窗口的同时，又不需要重复执行OPC流程，减少OPC方法优化流程及OPC出版时间

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116520648 A (43)申请公布日 2023.08.01 (21)申请号 202310487630.5 (22)申请日 2023.04.28 (71)申请人上海华力微电子有限公司地址 2