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本发明提供芯片的检查方法，能够适当地评价通过被加工物的分割而形成的芯片。该芯片的检查方法包含如下的步骤：分割步骤，按照规定的分割加工条件对被加工物进行加工，由此将被加工物分割成多个芯片；拍摄步骤，对芯片的侧面进行拍摄，由此获取表现芯片的侧面的侧面图像；以及检查步骤，将从侧面图像抽取的评价值与阈值进行比较，由此对芯片的状态进行检查。
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116525477 A (43)申请公布日 2023.08.01 (21)申请号 202310079601.5 (22)申请日 2023.01.17 (30)优先权数据 2022-011398 202
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