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本申请公开了一种铋碲硒合金靶材的制备方法，属于靶材制备技术领域。该方法包括以下步骤：将原料Bi、原料Te和原料Se按Bi2Te3‑xSex，x＝0.15‑0.5配料进行熔炼，所得铋碲硒合金锭进行气雾化，得到平均粒径小于45μm的铋碲硒合金粉体；将铋碲硒合金粉体进行分步热压烧结，得到铋碲硒合金靶材；第一次热压烧结的条件包括：烧结温度为180‑360℃，烧结压力为15‑20MPa；第二次热压烧结的条件包括：烧结温度为320‑360℃，烧结压力为12‑15MPa。本申请通过分步烧结，并且控制分步烧结的
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116516304 A (43)申请公布日 2023.08.01 (21)申请号 202310448228.6 (22)申请日 2023.04.24 (71)申请人 先导薄膜材料（广东）有限公司 地址
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