JB_T 5633-1991单晶炉能耗分等.pdf

中华人民共和国机械行业标准JB/T 563391单晶炉能耗分等主题内容与适用范围本标准规定了单晶炉能耗分等。本标准适用于电子工业企业直拉式和区熔式硅单品炉。单晶炉能耗可比单耗分为一等、二等、三等三个等级。达不到三等指标的属于等外。3单品炉能耗分等见表1。表 1单晶炉功牢可比单耗指标kW·h/kgkw等=三等10 ~ 69≤125125~135135~155≥70~150≤135135~145145~155可比单耗按统计期内每千克合格产品折合重量计算的平均单耗，称为可比单耗。按式（1）计算;bk 7Gz(1 )式中：bx-可比单艳，kWh/kg;W—统计期内某炉总耗电量，kW.hsG,统计期内该炉合格产品的总折合重量，kg4.1统计期内单晶炉的总耗电量，系指单品炉抽真空、升温、熔硅、引颈、效肩、转肩、等径、收尾、冷却等工序过程总耗电量，不包括腐蚀柜、净化台、情性气体纯化器、冷却水泵等辅助设备耗电量。5考忠拉晶方式及单晶直径不同的彩响，经折算的合格单晶产品重量，称为折合重量。总折合重量按式（2）计算：Gz = ZG,K,K,1(2 )式中;G,统计期内某炉生产的某直径出炉单晶实际重量，kg;K,--该炉拉品方式系数（见表2）；Ki-—单品直径系数（见表3）机械电子工业部1991-09-13批准1992-07-01实施177 JB/T 5633-91表2拉晶方式直拉式区熔式K;1,00.6表3单品直径40~6060~8080~100100mmto110,970,95178 JB/T 5633—91单晶炉能耗分等16—ss9S全年mJB/T12月本kW · h/kg名单可01名人核标等级16校(第)号8裘其安装位置排6月联考器型号规格5月本标准由机械电子工业部机械标准化研究所归口。4月名号本标准由无锡微电子联合公司负责起草。本标准由机械电子工业部生产司提出。(菲）号2月本标准起草人朱衰正、肖风英。额定功串1月MY22=XqQkg护子炎别$总折合产量G2加说明：m总耗电量W编号医本本本179