一种分立式可调波模组分离子回旋共振加热天线.pdfVIP

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2023-07-29 发布于四川
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一种分立式可调波模组分离子回旋共振加热天线.pdf

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本发明公开了一种分立式可调波模组分离子回旋共振加热天线，包括射频源、加热天线和绝缘管。本发明中等离子体进入天线位置时，被天线激发的电磁场有效加热。通过射频(RF)源来调整两天线电流的相位，电流相位相差±90°分别对应等离子体中m＝±1波模占主导，两种波分别对应电子、离子的加热。等离子体不与电极直接接触，具有较高的服役寿命。同时两天线的半径以及间距可以随工作频率或放电工作气体的特征频率进行更改，具有良好的通用性。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116505263 A (43)申请公布日 2023.07.28 (21)申请号 202310485552.5 (22)申请日 2023.05.04 (71)申请人中国科学院合肥物质科学研究院地址