三氯氢硅分析规程.pdf

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转word可以编辑转word可以编辑 成都化工股份有限公司 三氯氢硅分析规程 1、主题内容与适用范围 本标准规定了三氯氢硅分析岗位的任务,原理,流程,准备工作,仪器运行,注意事项, 不正常现象及其处理办法,安全操作及劳动保护,岗位责任制,交接班制度等。 2、岗位任务 本岗位的任务是利用气相色谱,以氢气为载气,TCD 为检测器,分析三氯氢硅粗品及成 品的组份。 3、气相色谱原理及流程简介 当经净化处理流量适当的载气在仪器内流

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