基于包含传感器映射及经触发的数据输入的健康而监测、评估及响应的衬底处理系统工具.pdfVIP

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2023-07-22 发布于北京
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基于包含传感器映射及经触发的数据输入的健康而监测、评估及响应的衬底处理系统工具.pdf

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一种健康状态监测、评估以及响应系统，其包含界面及控制器。该界面被配置成从被设置在衬底处理系统中的传感器接收信号。该控制器包含健康状态指数模块。该健康状态指数模块被配置成执行算法，其包括：获得窗口及边界阈值；监测从该传感器输出的该信号；确定该信号是否已越过该边界阈值；更新健康状态指数分量，其中该健康状态指数分量是一个二进制值且对越过该边界阈值的该信号响应而在高位与低位值之间转变；及基于该健康状态指数分量而生成健康状态指数值，且在至少该窗口的持续时间期间将该健康状态指数值从100％降低至0％。该控制

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116472463 A (43)申请公布日 2023.07.21 (21)申请号 202180076097.2 托尔 ·安德里亚斯 ·拉贝　