发动机叶片薄膜传感器用高温绝缘层及其制备方法.pdfVIP

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2023-07-08 发布于四川
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发动机叶片薄膜传感器用高温绝缘层及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种发动机叶片薄膜传感器用高温绝缘层及其制备方法，该高温绝缘层包括由下至上依次设置的叶片基底层、高温氧化层、Al2O3薄膜层、Ta2O5薄膜层和Si3N4薄膜层，制备方法包括真空热处理及高温氧化、Al2O3薄膜层的制备、Ta2O5薄膜层的制备、Si3N4薄膜层的制备和高温热处理。本发明的高温绝缘层薄膜致密、缺陷少，能减少高温下因薄膜缺陷导致的漏电流，制备方法简单易行，成本较低。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113862673 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202111161291.9 C23C 14/34 (2006.01)