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本发明涉及一种基于金属螺旋结构的Fano共振微波传感器,该微波传感器包括两层结构,其中上层为金属层,下层为介质层;所述的金属层采用四重旋转对称的金属螺旋结构。与现有技术相比,本发明具有尺寸紧凑、易集成、易共形等优点。
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113866128 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202111254236.4 G01N 21/01 (2006.01) (22)申请日 2
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