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本发明公开了一种晶圆防偏承载装置及晶圆防偏方法，其中，所述晶圆防偏承载装置包括：承载板和多个卡钩，所述卡钩通过转轴与承载板连接且沿承载板的周向均匀布设，所述卡钩包括一长边和一短边，所述长边的内侧设置有限位凸起，自然状态下，卡钩处于张开状态，当将晶圆加载到承载板时，晶圆压迫短边，使卡钩旋转，直至长边上的限位凸起与晶圆的侧端面相抵后使晶圆处于约束态，此时，卡钩处于夹紧状态且卡钩的短边的自由端仍高于承载板的上表面，以支撑晶圆。该晶圆防偏承载装置及晶圆防偏方法可有效防止晶圆在传输过程中发生偏移，产生颗粒
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113823590 A (43)申请公布日 2021.12.21 (21)申请号 202010559923.6 (22)申请日 2020.06.18 (71)申请人 拓荆科技股份有限公司
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