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本发明提供一种光超声波测量装置、方法、程序、记录介质，一边补偿使测量装置与测量对象接触时的测量对象的表面形状的变动，一边进行测量对象的测量。光超声波测量装置具有：超声波脉冲输出部，其输出超声波脉冲；脉冲光输出部，其输出脉冲光；反射波测量部，其将超声波脉冲在测量对象中反射后的反射波与时间对应起来进行测量；光声波测量部，其将因脉冲光而在测量对象中产生的光声波与时间对应起来进行测量；超过时刻获取部，其获取反射波的测量结果超过预定的阈值的时刻即超过时刻；以及测量结果位移部，其使光声波的测量结果朝向脉冲光
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113812921 A (43)申请公布日 2021.12.21 (21)申请号 202110514935.1 (22)申请日 2021.05.12 (30)优先权数据 2020-1053
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