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本发明涉及一种大型高功率真空等离子体处理装置，包括底座、移动罐体、等离子体处理模块、固定罐体、控制系统和真空泵。所述等离子体处理模块具有用于固定绕满物料的物料桶和空的物料桶，所述物料桶之间排列有滚筒，绕满物料的物料桶上的物料从物料桶引出后，往复绕过各滚筒，最后缠绕于空的物料桶之上，位于滚筒之间安装有极板，所述的极板连接13.56MHz射频电源实现双输出放电而产生等离子体，对穿过其中的物料进行处理。本发明可实现对物料工业级射频(13.56MHz)双输出放电的等离子处理，通过等离子体光化学反应在物料
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113817204 A (43)申请公布日 2021.12.21 (21)申请号 202111077912.5 (51)Int.Cl.
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