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本发明公开了一种晶圆防干扰称重装置及其应用，其中，所述晶圆防干扰称重装置包括：量测室，所述量测室可提供一真空的量测腔，所述量测腔内设置有减振平台，所述减振平台上放置称重装置，所述量测室还设置有电磁屏蔽结构。该晶圆防干扰称重装置结构合理、成本低、防干扰效果好、可提高称重的准确性，使用环保材料，对洁净间的环境影响小，可用于薄膜工艺的重复性判断。
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113819985 A (43)申请公布日 2021.12.21 (21)申请号 202010558992.5 (22)申请日 2020.06.18 (71)申请人 拓荆
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