体声波谐振装置、滤波装置及射频前端装置.pdfVIP

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2023-07-06 发布于四川
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体声波谐振装置、滤波装置及射频前端装置.pdf

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本发明实施例提供一种体声波谐振装置、一种滤波装置及一种射频前端装置，其中，体声波谐振装置包括：第一层，第一层包括空腔；第一电极层，第一电极层的至少一端位于空腔内；压电层，位于第一电极层上，覆盖空腔，压电层包括第一侧及与第一侧垂直方向上相对的第二侧，第一电极层位于第一侧；第二电极层，位于第二侧，位于压电层上；以及至少一个边缘结构，位于第一电极层和第二电极层的重合部水平方向上的边缘，至少一个边缘结构关于压电层在垂直方向上呈非对称结构。至少一个边缘结构所在的边缘部的声阻抗与至少一个边缘结构之间的中间部

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113824422 A (43)申请公布日 2021.12.21 (21)申请号 202111054656.8 (22)申请日 2021.09.08 (71)申请人常州承芯半导体有限公司