TFT背板的制作方法.pdfVIP

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2023-07-06 发布于四川
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TFT背板的制作方法.pdf

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本申请实施例提供一种TFT背板的制作方法，包括：提供衬底基板，在衬底基板上定义薄膜晶体管区域和测试区域；在薄膜晶体管区域中沉积待检测膜层的同时，在测试区域中沉积待检测膜层；对测试区域的待检测膜层进行检测。本申请实施例的TFT背板的制作方法，通过在TFT背板上同时设置薄膜晶体管区域和测试区域，能够在TFT背板的制作过程中实时检测TFT背板中各透明膜层或半透明膜层的参数，并实时获得测试结果，方便及时发现和处理膜厚异常，并且可以根据测试结果对量产线的工艺条件进行改进，以提高产品质量。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113823593 A (43)申请公布日 2021.12.21 (21)申请号 202110956758.2 (22)申请日 2021.08.19 (71)申请人深圳