具有双铰链结构的微机电系统器件.pdfVIP

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2023-07-06 发布于四川
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具有双铰链结构的微机电系统器件.pdf

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一种微机电系统(MEMS)器件可以包括第一层，其包括定子梳状致动器；第二层，其包括转子梳状致动器；包括反射镜的反射镜结构；以及第一组铰链和第二组铰链，该第一组铰链和第二组铰链被配置为基于由定子梳状致动器与转子梳状致动器接合引起的驱动扭矩，使反射镜结构围绕微机电系统器件的第一轴线倾斜。第一组铰链可以被配置成抵抗由定子梳状致动器与转子梳状致动器接合引起的在与第一轴线相关联的方向上在反射镜结构上的横向线性力。第二组铰链可以被配置为抵抗由定子梳状致动器与转子梳状致动器接合引起的围绕微机电系统器件的第二轴

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113816333 A (43)申请公布日 2021.12.21 (21)申请号 202110618586.8 (22)申请日 2021.06.03 (30)优先权数据