用于透明材料的激光加工的方法和装置.pdfVIP

用于透明材料的激光加工的方法和装置.pdf

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本发明涉及通过超短激光脉冲制造透明材料。一种用以制造对激光波长大部分透明的材料的方法,该方法包括由光学元件形成非中心对称的无衍射光束,该光学元件包含至少两个双折射结构区域,该双折射结构区域根据特定于该特定区域的规则改变Pancharatnam‑Berry相位。能量、相位和偏振的分布取决于接近所述元件的光的参数。选择脉冲能量以利用分布的主最大值来形成沿期望方向伸长的空隙,而侧最大值形成来自相邻脉冲的损伤之间的化学特性的变化。空隙损伤和化学变化区域形成期望的切割线。将以所述方式制备的工件置于化学聚集

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113825585 A (43)申请公布日 2021.12.21 (21)申请号 202080036224.1 (74)专利代理机构 广州嘉权专利商标事务所有

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