一种易剥离高结晶质量的氮化铝薄膜的制备方法.pdfVIP

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2023-07-06 发布于四川
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一种易剥离高结晶质量的氮化铝薄膜的制备方法.pdf

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本发明公开了一种易剥离高结晶质量的氮化铝薄膜的制备方法，包括：对铜衬底进行加热预处理；在预处理后的铜衬底上生长二维BN层；将所述二维BN层从所述铜衬底上转移至蓝宝石衬底上；利用磁控溅射方法，在所述二维BN层上生长一层氮化铝材料，形成三层结构；对所述三层结构进行高温退火处理，以提高所述三层结构上的所述氮化铝材料的结晶质量；使用胶带将所述氮化铝材料从所三层结构上进行剥离，得到制备完成的氮化铝薄膜。本发明可以在保证结晶质量的同时提高氮化铝薄膜的可剥离性。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113817982 A (43)申请公布日 2021.12.21 (21)申请号 202110831683.5 (22)申请日 2021.07.22 (71)申请人西安