用于干涉仪装置的反射镜装置、干涉仪装置和用于制造反射镜装置的方法.pdfVIP

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2023-07-04 发布于四川
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用于干涉仪装置的反射镜装置、干涉仪装置和用于制造反射镜装置的方法.pdf

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本发明提供了一种用于干涉仪装置（10）的反射镜装置（1），其包括：上下平行地并且彼此相距反射镜层间距（d23）地布置的第一反射镜层（2）和第二反射镜层（3），其中，所述反射镜层间距（d23）在第一和第二反射镜层（2、3）之间形成中间腔（5），其中，所述中间腔（5）包括气体或真空；至少一个至少部分地在第一和第二反射镜层（2、3）之间延伸的间隔结构（4），其中，所述间隔结构（4）包括与第一和/或第二反射镜层（2、3）相同或不同的材料。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113785227 A (43)申请公布日 2021.12.10 (21)申请号 202080034778.8 (74)专利代理机构中国专利代理(香港)有限公