GB/T 42106-2022纳米技术　三维纳米结构与器件的加工方法　离子束辐照诱导应变法.pdf

ICS07.030 CCSA42 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT42106 2022 纳米技术 三维纳米结构与器件的加工 方法 离子束辐照诱导应变法 — Nanotechnolo Fabricationofthreedimensionalnanostructuresand gy — devices Astrainmethodinducedb ionbeamirradiation y 2022-12-30发布 2023-07-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 / — GBT42106 2022 目 次 前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅰ 引言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅱ 1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1 、 ……………………………………………………………………………………… 3 术语 定义和缩略语 1 3.1 术语和定义 ………………………………………………………………………………………… 1 3.2 缩略语 ……………………………………………………………………………………………… 1 4 加工原理 ………………………………………………………………………………………………… 2 4.1 原理 ………………………………………………………………………………………………… 2 4.2 利用该加工原理可构建的三维纳米结构 ………………………………………………………… 2 5 材料与设备 ……………………………………………………………………………………………… 3 5.1 材料 ………………………………………………………………………………………………… 3 5.2 设备 ………………………………………………………………………………………………… 3 6 环境条件 ………………………………………………………………………………………………… 3 6.1 温度 ………………………………………………………………………………………………… 3 6.2 湿度 ………………………………………………………………………………………………… 3 6.3 洁净度 ……………………………………………………………………………………………… 4 7 加工方法 ………………………………………………………………………………………………… 4 7.1 衬底清洗 …………………………………………………………………………………………… 4 7.2 直立纳米线构建三维纳米结构的加工方法 ……………………………………………………… 4 7.3 平面纳米薄膜构建三维纳米结构的加工方法 …………………………………………………… 5 7.4 保存 ………………………………………………………………………………………………… 5 参考文献………………………………………………………………