一种微透镜阵列光栅及其制备方法和应用.pdfVIP

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2023-07-02 发布于四川
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一种微透镜阵列光栅及其制备方法和应用.pdf

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本发明涉及光学技术领域，具体涉及一种微透镜阵列光栅及其制备方法和应用。所述微透镜阵列光栅的制备方法为采用具有气孔阵列的微流控芯片，利用水压将PDMS光栅变形为微透镜阵列光栅。本发明采用微流控技术制作微透镜阵列光栅上，解决了传统工艺制作微透镜阵列光栅时存在的集成度不高以及工艺不可控等问题。本制备的微透镜阵列光栅元件，组合了聚焦和色散两种功能，相比传统元件，降低了元件的尺寸和成本；微透镜阵列光栅可以在同一个基片上集成不同尺寸的微透镜，使其同时具有不同的分光功能，提高了元件的集成度。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113740942 B (45)授权公告日 2022.08.16 (21)申请号 202110919289.7 G02B 5/18 (2006.01) (22)申请日 2021.08.