氧化钛掺杂旋涂玻璃固化装置.pdfVIP

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2023-07-02 发布于四川
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氧化钛掺杂旋涂玻璃固化装置.pdf

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本发明公开一种氧化钛掺杂旋涂玻璃固化装置，包括反应炉，反应炉为反向石英双炉管设计，反应炉的上端开设有石英分隔板，石英分隔板将反应炉的内外双石英管分为内通道和外通道，内通道上设置有第一进气口和第二进气口，外通道上设置有出气口，反应炉的顶端设置有进料口，进料口上方设置有多层石墨基座，多层石墨基座通过升降机构进入进料口进行反应，反应炉的外管壁上由上而下分别设置有第一线圈和第二线圈，第一线圈和第二线圈用于为反应炉加热，本发明利用反向的反应炉管以及多层石墨基座，并用线圈式的感应加热方式，可以大大节省径向空

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113737278 B (45)授权公告日 2022.05.03 (21)申请号 202110864294.2 C30B 25/12 (2006.01)