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本发明属于直拉单晶炉热场技术领域,具体的说是一种直拉单晶硅炉热场的三相交流加热器及其加热方法,包括加热器本体和连接环,所述加热器本体包括三个弧形加热板,且三个弧形加热板能够拼接成完整的圆筒,所述弧形加热板的底部固连有引脚,所述弧形加热板底部两侧位置均开设有插槽。本发明通过设有推动装置,当坩埚长期使用发生变形或对中跑偏,以及受热膨胀时,坩埚的外壁会与推动装置接触,从而使得推动装置带动其两侧的偏转装置进行工作,当偏转装置工作时,弧形加热板在偏转装置的作用下向远离坩埚的方向运动,从而使得弧形加热板与坩
(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113737272 B (45)授权公告日 2022.05.27 (21)申请号 202110941930.7 (51)Int.Cl.
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