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提供一种适合于防止从真空泵向真空腔室侧的粒子的倒流的真空泵。真空泵（P1）具备：涡轮分子泵部（PT），借助旋转叶片（7）和固定叶片（8）将气体分子排气；以及螺纹槽泵部（PS），设在比涡轮分子部靠下游，并且借助由圆筒状的旋转零件（圆筒部（6））和设在其外周的圆筒状的固定零件（螺纹槽泵部定子（9））形成的螺纹槽流路（R）将气体分子排气；在比涡轮分子泵部靠下游，设有防止从螺纹槽泵部向涡轮分子泵部的方向的粒子的弹回的防反弹机构（J）。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113748267 A
(43)申请公布日 2021.12.03
(21)申请号 202080034045.4 (74)专利代理机构 中国专利代理(香港)有限公
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