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一种测试板及测试系统,用于集成电路的低温测试,所述测试板包括:电路板,包括:测试电路组件,设置在所述电路板的一面上;以及安装部件,设置在所述电路板的另一面上,配置为安装所述集成电路的夹具,所述安装部件在所述电路板上的正投影落入所述测试电路组件在所述电路板上的正投影内;加强板,配置为支撑并固定所述电路板,所述加强板包括第一镂空孔,所述第一镂空孔在所述电路板上的正投影覆盖所述测试电路组件在所述电路板上的正投影,以及输气通路,基本上平行与所述电路板,所述输气通路穿过所述加强板的至少一部分,配置为向所述
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113721134 A (43)申请公布日 2021.11.30 (21)申请号 202111131497.7 (22)申请日 2021.09.26 (71)申请人 上海华岭集成电路技术股份有限公
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