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本发明公开了一种格栅式扫描致动器,包括底座、以及依次连接的第一致动部和第二致动部,第一致动部具有弯曲刚度增强结构,弯曲刚度增强结构用于增大第一致动部在第三方向上的弯曲刚度,或所述的弯曲刚度增强结构用于增大第一致动部在第三方向上的弯曲刚度并减小第一致动部在第二方向上的弯曲刚度,使得第一致动部在第三方向上的弯曲刚度远大于第一致动部在第二方向上的弯曲刚度。还公开了采用该格栅式扫描致动器的光纤扫描器。通过在第一致动部设置弯曲刚度增强结构增大第一致动部在第三方向上的弯曲刚度,可以降低甚至消除第二致动部振动
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113741027 A (43)申请公布日 2021.12.03 (21)申请号 20201
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