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本申请公开了一种用于半导体工艺的故障检测方法、装置、系统及计算机可读存储介质。所述故障检测方法包括：获取预定时间周期内表示正常工艺状态的原始数据集；对原始数据集进行去相关处理，以降低原始数据集的维度并去除冗余信息；基于经去相关处理的数据集，确定与产品工艺数据相关联的指标参数集；根据预设的故障判断准确率计算指标参数集的阈值；在工艺过程中获取待检测数据并计算其指标参数集；以及响应于与待检测数据对应的指标参数集超出阈值，识别出工艺过程发生故障。
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113721121 A (43)申请公布日 2021.11.30 (21)申请号 202111025544.X (22)申请日 2021.09.02 (71)申请人 长江存储科技有限责任公司
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