GB/Z 42625-2023真空技术　真空计　用于分压力测量的四极质谱仪特性.pdf

ICS23.160 CCSJ78 中华人民共和国国家标准化指导性技术文件 / — / / : GBZ42625 2023ISOTS201752018 真空技术 真空计 用于分压力测量的四极质谱仪特性 — — Vacuumtechnolo Vacuum aues Characterizationof gy g g uadruolemasssectrometersfor artialressuremeasurement q p p p p ( / : , ) ISOTS201752018IDT 2023-05-23发布 2023-05-23实施 国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 / — / / : GBZ42625 2023ISOTS201752018 目 次 前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅲ 引言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅳ 1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1 3 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 2 4 符号和缩略语 …………………………………………………………………………………………… 3 5 不同应用状况下要求或推荐的特征参数 ……………………………………………………………… 4 5.1 一般要求 …………………………………………………………………………………………… 4 5.2 QMS的一般特性 …………………………………………………………………………………… 4 ( )……………………………………………………………………… 5.3 漏率测量与监测 氦气泄漏 4 ( )……………………………………………………………………………… 5.4 漏率监测 空气泄漏 5 ( )………………………………………………………………………………… 5.5 漏率监测 水泄漏 5 5.6 残余气体分析 ……………………………………………………………………………………… 5 5.7 放气率测试 ……………………………………………………………………………………