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本发明提供一种平板玻璃用离子束形成模块及离子植入系统及方法,其中平板玻璃用离子束形成模块包括有依次相连接的离子源组合单元、离子束质量和电荷比值分析磁场单元、拓展磁铁组合单元和准直磁铁组合单元;离子源组合单元中包括有并排设置的若干个离子源装置,离子源装置的输入端连接有供能供料装置;拓展磁铁组合单元中包括有若干组拓展磁铁,每组拓展磁铁的位置均分别与一个离子源装置产生的离子束的两侧相对应;准直磁铁组合单元位于若干个离子源装置产生的若干条离子束经离子束质量和电荷比值分析磁场单元偏转后的交汇处。本方案获得
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116344302 A (43)申请公布日 2023.06.27 (21)申请号 202310375247.0 H01J 37/18 (2006.01)
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