一种铜-玻璃等离子体电极结构.pdfVIP

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2023-06-28 发布于四川
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一种铜-玻璃等离子体电极结构.pdf

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本发明涉及一种铜‑玻璃等离子体电极结构，设有电极板、等离子体腔室、密封圈、水冷线圈、玻璃、转接头。所述电极板为无氧铜材质，上端面铣出三个直径不一的同心沉槽，直径最小的沉槽一内同心装配玻璃，防止等离子体对电极板的溅射；直径稍大的沉槽二用于与等离子体腔室配合；直径最大的开口沉槽内焊接水冷线圈，为电极板提供热移除。水冷线圈两端焊接转接头，便于连接冷却管路。通过本发明所述结构，将铜导热系数高和玻璃复合系数低的特点有效结合，使该等离子体电极结构既能够提供优异的冷却能力又能够有效降低电极受到等离子体轰击后产

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116347737 A (43)申请公布日 2023.06.27 (21)申请号 202310416719.2 (22)申请日 2023.04.13 (71)申请人合肥综合性国家科学中心能源研究